へレウスがAD法をサービス化、試験装置を用意し基礎研究から試作まで対応

左から、高温センサーでのAD法の活用事例、AD法を適用した高温センサーの断面図、長期信頼性試験後の比較［クリックで拡大］ 出所：へレウス