三菱電機が12インチSiウエハー対応生産ライン設置、2024年に量産開始 Siウエハーと抵抗測定器。左が12インチ、右が8インチのSiウエハー[クリックで拡大]出所:三菱電機 記事に戻る 長沢正博,MONOist