3種以上の物質を含む混合ガスを高速検知可能な新たな熱伝導型ガスセンサー

新型の熱伝導型ガスセンサー（左）と独自のMEMS製造プラットフォームで搭載可能なセンサー（右）のイメージ［クリックで拡大］ 出所：東芝