半導体製造装置メーカー向け熱制御機器の製造に特化した新棟が長野で稼働開始 生産する製品。(左)半導体向けホットプレート、(右)半導体向けヒーター[クリックで拡大] 出所:エア・ウォーター 記事に戻る MONOist