半導体後工程の生産性向上、パナソニックがプラズマクリーナーの汚れをスコア化 上段はプラズマクリーナーのスコア、下段は装置内の7つの部位のそれぞれ30日間のスコア推移[クリックで拡大] 記事に戻る 長沢正博,MONOist