キヤノンが後工程向けi線半導体露光装置を発売、100mm角の広画角で3次元化に貢献

4つの露光ショットをつなぎ合わせて1つの大型パッケージとする例（4ショット×4個）［クリックで拡大］ 出所：キヤノン