キヤノンが後工程向けi線半導体露光装置を発売、100mm角の広画角で3次元化に貢献 4つの露光ショットをつなぎ合わせて1つの大型パッケージとする例(4ショット×4個)[クリックで拡大] 出所:キヤノン 記事に戻る MONOist