超音波センサーの感度が20倍に、OKIのLEDプリンタ技術が単結晶薄膜と融合

KRYSTALが8インチシリコンウエハー上に形成した単結晶薄膜。左から、ニオブ酸リチウム、窒化アルミニウム、白金、PZTの順で並んでいる。PZTは既に商用化しており、ニオブ酸リチウムと窒化アルミニウムは開発中だ。白金は、バッファー層として用いられており、この上に単結晶薄膜を成長させていくことになる［クリックで拡大］