超音波センサーの感度が20倍に、OKIのLEDプリンタ技術が単結晶薄膜と融合

KRYSTALの単結晶薄膜とOKIのCFB技術を組み合わせて、MEMS分野の顧客に圧電CFBウエハーを販売する［クリックで拡大］ 出所：OKI