業界最高水準毎時300枚のスループット、半導体露光装置KrFスキャナーに新オプション

半導体露光装置KrFスキャナー「FPA-6300ES6a」（左）と稼働中の「FPA-6300ES6a」（右）［クリックで拡大］ 出所：キヤノン