先端ロジック／メモリチップのパターニングには計測技術のブレークスルーが必要

図2　今日の光学計測装置は代替ターゲットに依存している。パターンが正しく配置されているかどうかを見極めるために使われるこのターゲットは、ダイ上にある実際のフィーチャーより約10倍大きい［クリックで拡大］