先端ロジック／メモリチップのパターニングには計測技術のブレークスルーが必要

図1　パターニングの課題には、コンタクトホール、ライン、スペースの微細寸法（CD）のばらつきおよびエッジプレースメントエラーなどがある［クリックで拡大］