2nm以降世代に向けた半導体プロジェクトが始動、かつての国プロとの違いとは 「先端半導体製造技術の開発」の主要拠点となるAISTのつくば西事業所[クリックで拡大] 出所:AIST 記事に戻る 朴尚洙,MONOist