新規ファブのサステナブル化に向けた主要半導体メーカーの動き

図1　月間ウエハー投入数5万枚規模の先進的ファブが消費する電力は年間およそ1TWhで、人口10万人の都市が消費する電力に近い。ウエハープロセス装置が消費するのはその約半分で、残るかなりの量がサポート設備とクリーンルームで消費されている［クリックで拡大］