デジタル出力非対応の旧型半導体製造装置、京セミが取り組んだIoT化の道のり 25年以上前から稼働し続けているプラズマCVD装置*出典:京都セミコンダクター[クリックして拡大] 記事に戻る 池谷翼,MONOist