架台内の雰囲気温度の上昇による影響を検証する

図1　熱流体解析（SOLIDWORKS Flow Simulation）による定常解析の結果。SOLIDWORKS Flow Simulationでは、ヒータープレート内に熱量を設定することにより、固体の熱伝導解析と、周囲の流体（空気）の温度と対流によって生じる流体の流れの解析が可能である ［クリックで拡大］