半導体製造装置立ち上げをMRで遠隔支援、ASMLがコロナ禍で強化 EUVの各世代のインフラ整備状況(※)ベンダー例は主なもので全てではない(クリックで拡大)出典:ASML 記事に戻る 三島一孝,MONOist