分解能1nmで膜厚を測定できる、キヤノンITSがハイパースペクトル画像事業に注力

薄膜厚みの測定事例。より長い波長（1200n〜1650nm）を使えば、厚めのシリコン膜の厚みも測定できる（左）。厚み全体に対して0.05％の分解能で計測できる（右）（クリックで拡大） 出典：キヤノンITS