分解能1nmで膜厚を測定できる、キヤノンITSがハイパースペクトル画像事業に注力

薄膜厚みの測定事例。半導体ウエハーの厚みや（左）、500n〜900nmの波長を使って、電極部下層と上層、酸化膜、構造物の厚みを測定できる（右）（クリックで拡大） 出典：キヤノンITS