分解能1nmで膜厚を測定できる、キヤノンITSがハイパースペクトル画像事業に注力 LuxFluxの製品は波長の干渉性を活用した厚み測定が可能(クリックで拡大) 出典:キヤノンITS 記事に戻る 朴尚洙,MONOist