三菱電機から「世界最高レベル」のトレンチ型SiC-MOSFET、信頼性と量産性も確保

高濃度層の形成して素子抵抗率の低減効果を得やすくした（左）。実際に高濃度層を設けない場合と比べて、約25％の抵抗低減効果が得られた（右）（クリックで拡大） 出典：三菱電機