工場設備の故障予知に必要なセンサーとは、MEMSでゲームチェンジを起こす

MEMS加速度センサーで“ゲームチェンジ”を起こす（左）。TBMとCBMの違い（右）（クリックで拡大） 出典：アナログ・デバイセズ