72台の装置を半日で稼働、日本発「ミニマルファブ」が変える革新型モノづくり

ウエハーの搬送をエアシューターで行ったデモの様子（左）、ディスコブースまで120mものエアシューターが結ばれている（中央）、搬送用のパッケージ（右）（クリックで拡大）