IoTデバイスに最適なプラズマダイシング、パナソニックが実証センターを開設 ブレードダイシングとプラズマダイシングの比較(左)。プラズマダイシングはブレードダイシングと比べて4つの特徴がある(右)(クリックで拡大) 出典:PFSC 記事に戻る 朴尚洙,MONOist