IoTデバイスに最適なプラズマダイシング、パナソニックが実証センターを開設 プラズマダイシングを適用したウエハー。ウエハーの厚みは25μm、ダイサイズは7×17mm。ダイシング幅が狭い(クリックで拡大) 記事に戻る 朴尚洙,MONOist