IoTデバイスに最適なプラズマダイシング、パナソニックが実証センターを開設

PFSCが開設した「プラズマダイシング実証センター」。床面積は230m2（うちクリーンルームは160m2）で、プラズマダイシングの前後に必要な装置、材料の他、回路形成済みウエハーを薄く加工するバックグラインダーも間もなく導入する予定（クリックで拡大） 出典：PFSC