ウエハー厚さ25μmでも抗折強度とゲッタリング効果を両立、裏面研磨の新製品

ダイシングブレードの加工品質の比較。左側は従来品、右側は「ZH14シリーズ」である（クリックで拡大） 出典：ディスコ