クワッド差動構造採用の車載MEMSジャイロセンサー、耐衝撃性と耐振動性を大幅に向上

図2　MEMSセンサー素子部の構造（提供：アナログ・デバイセズ）　 機械的に結合させた2個のMEMSセンサー素子を2組用いるクワッド差動構造を採用することで、角速度の検知における高い耐衝撃性と耐振動性を実現している。