最新センサーデバイスが変える予防安全システム

図11　Infineon社のTPMS用センサーの構造（提供：インフィニオンテクノロジーズジャパン）　バルクマイクロマシニングにより加速度センサーと圧力センサーを1チップに統合。無線通信と制御用のASICと合わせて1パッケージにして提供している。