エプソンが“環境配慮型”液晶パネル工場を公開

奥が千歳事業所で使っている300ミリウェハ、手前が200ミリウェハ（写真＝左）。装置と製品を運搬する容器のFOSBは、内部がクラス1エリアとなっている（写真＝中央）。組み立て工程後に長野県内に運ばれ、実装工程を経たHTPSパネルモジュール（写真＝右）