硬いシリコンを「曲げ伸ばし」でテラヘルツ波を制御 伸長に伴う平面渦巻きばね構造の変形。左から「自然長」「7.3%伸長時」「12.6%伸長時」の光学顕微鏡像[クリックで拡大] 出所:東北大学他 記事に戻る 馬本隆綱,EE Times Japan