生成AIは前工程装置市場をどう変えた? ――各装置の明暗と「After AI」の行方 図5 枚葉式洗浄装置の出荷額と企業別シェア(〜2025年)[クリックで拡大] 出所:SBI証券、一部微細加工研究所の推定 記事に戻る 湯之上隆(微細加工研究所),EE Times Japan