FLOSFIAが6インチ基板で酸化ガリウムエピ成膜　8インチも視野

ウエハー面積と膜厚の面内ばらつきの関係。3〜6インチは実測値、8インチは近似曲線からの予測値だ［クリックで拡大］出所：FLOSFIA