FLOSFIAが6インチ基板で酸化ガリウムエピ成膜　8インチも視野

6インチサファイア基板上に成膜したα-Ga2O3エピタキシャルウエハー（左）と4インチウエハー（右）［クリックで拡大］出所：FLOSFIA