He・ナフサ・レジスト逼迫の続報――半導体工場停止が回避できている理由 図1 前工程のどこにHeが使われ、ナフサ由来の部品や材料があるか[クリックで拡大] 記事に戻る 湯之上隆(微細加工研究所),EE Times Japan