ガラス基板量産の壁　「見えない欠陥」を可視化　非破壊3D解析の新装置

TGVエッチング工程における3D視覚化イメージおよびTGV側壁粗さ条件比較2D、TGV側壁粗さ条件比較3D［クリックで拡大］ 出所：株式会社 新興精機