「国際メモリワークショップ(IMW)」が始まるまで 「電荷捕獲(チャージトラップ)方式」のキャパシタ構造。金属ゲートと半導体の間に、2種類の絶縁膜(窒化膜と酸化膜)をレイアウトした[クリックで拡大] 出所:H. A. R. Wegener, Investigation of New Concepts of Adaptive Devices, Interim Scientific Report NAS12-570, Sperry Rand Research Center, September 1968 記事に戻る 福田昭,EE Times Japan