メモリ起点に後工程へ本格参入 半導体の総合材料メーカー目指すADEKA 左=先端ロジック向けの動向、右=リソグラフィ関連の動向[クリックで拡大] 出所:ADEKA 記事に戻る 杉山康介,EE Times Japan