最高速のガラス微細貫通穴加工技術を開発、理研

左上は2次元レーザー顕微鏡による貫通穴像、右上は3次元レーザー顕微鏡による貫通穴像。下は穴壁面の深さ方向に対する表面形状プロファイル［クリックで拡大］ 出所：理研