最高速のガラス微細貫通穴加工技術を開発、理研

上図は水酸化ナトリウム溶液を用いてエッチングを行った貫通穴アレイ断面の光学顕微鏡写真。下は穴径のエッチング時間とその依存性［クリックで拡大］ 出所：理研