最高速のガラス微細貫通穴加工技術を開発、理研 左はGHzバーストパルスの波形。右はGHzバーストモード超短ベッセルパルスのワンショットで形成したガラス貫通穴アレイの光学顕微鏡写真[クリックで拡大] 出所:理研 記事に戻る 馬本隆綱,EE Times Japan