3インチ単結晶ダイヤモンドウエハーの生産技術確立 単結晶ダイヤモンドウエハーの外観。左から1インチ、2インチ、3インチ[クリックで拡大] 出所:Orbray 記事に戻る 馬本隆綱,EE Times Japan