「第3のインターポーザー」セラミック基板　ユーザーから強いニーズ

左＝300mmの大型AlN基板。薄さは柔軟に制御できるという。研磨技術を持つパートナー企業と協業することで、平たん性にも優れたAlN基板を実現した／右＝セラミックインターポーザー。サイズは75mm角で、ビアピッチは0.15mm、ビアサイズはφ100μm（銅穴埋めビア）［クリックで拡大］