量産用PLP装置の導入1年以内に　Lam幹部が語る勝機と戦略

Lamのウェット装置テクノロジーシステム コーポレートバイスプレジデント兼ゼネラルマネジャーを務めるAaron Fellis氏［クリックで拡大］ 出所：Lam Research