AI半導体で「パネルは新たなフロンティア」、Lamの装置戦略

84mm×54mmクラスのパッケージでは、300mmウエハーでは8個だったのが、310mm角なら15個、510mm角なら54個、さらに600mm角なら77個を1枚のパネルから製造できることになる［クリックで拡大］ 出所：Lam Research