ナフサ危機で迫る「レジスト供給途絶」――世界の半導体工場を停止させる、もう一つの臨界点 図5 半導体工場におけるFFKM、PFPE、PFAの途絶ととフォトレジスト途絶の比較（筆者の推定に基づく）［クリックで拡大］ 記事に戻る 湯之上隆（微細加工研究所），EE Times Japan
