ナフサ危機で迫る「レジスト供給途絶」――世界の半導体工場を停止させる、もう一つの臨界点 図1 前工程のどこにHeが使われ、ナフサ由来の部品・材料があるか［クリックで拡大］ 記事に戻る 湯之上隆（微細加工研究所），EE Times Japan
