He/ナフサ供給危機で工場新設も遅延? 装置/チップメーカーへの波及経路を探る 図5 ノードごとのHe依存度、ナフサ/PFAS依存度、総合的な影響度[クリックで拡大] 記事に戻る 湯之上隆(微細加工研究所),EE Times Japan