He／ナフサ供給危機で工場新設も遅延？ 装置／チップメーカーへの波及経路を探る

図4　主要装置メーカーにおけるアフターマーケット事業の売上、利益率、He／ナフサ依存度。注）アフターマーケット事業の売上および利益率は各社のIR資料（FY2023）に基づく［クリックで拡大］