「装置は動くがプロセスが成立しない」――He供給危機とナフサ不足の本質

（既出）ドライエッチング装置における温度制御の原理［クリックで拡大］ 出所：野尻一男（Nanotech Research）　『はじめての半導体ドライエッチング技術』（技術評論社）、90ページの図4-16