シリコンフォトニクスと先進パッケージの統合が描く未来 先進パッケージ技術(ウエハーとダイの積層技術)を導入した「COUPE(クーペ)」の製造工程(概要のみ)[クリックで拡大] 出所:TSMC(IEDM 2025のショートコース(番号SC1-5)で公表された講演スライドから) 記事に戻る 福田昭,EE Times Japan